6인치 반도체 웨이퍼 취급용 매뉴얼 완드
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| M100-150L |
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| 잠금 장치 효과로 인해 웨이퍼를 잡을 때 적은 힘이 필요함 |
| PEEK 재질 (Polyetheretherketon) |
| 웨이퍼 가장자리 접촉면: 3.0mm(상부), 6.0mm(하부) |
| 길이: 185mm, 무게: 71g |
| M100-150 |
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| PEEK 재질 (Polyetheretherketon) |
| 웨이퍼 가장자리 접촉면: 5.6mm(상부), 8.5mm(하부) |
| 길이: 147mm, 무게: 31g |
| M110-150 |
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| PPS 재질 (Polyphenylene Sulfide) |
| 웨이퍼 가장자리 접촉면: 5.6mm(상부), 8.5mm(하부) |
| 길이: 147mm, 무게: 33g |
| E100-150 |
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| 전도성 PEEK 재질 (Polyetheretherketon) |
| 웨이퍼 가장자리 접촉면: 5.6mm(상부), 8.5mm(하부) |
| 길이: 147mm, 무게: 32g |
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