NO+SW: 고정 스위치가 있는 개방형
고정 스위치가 있는 개방형 진공 완드:버튼을 누르면 웨이퍼 탈착
버튼을 누르면 웨이퍼 탈착
미 사용시 진공은 자동으로 꺼짐

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