抗靜電真空管線

用於處理半導體矽晶圓的抗靜電ESD真空管線
  • 不會有靜電的累積
  • 避免電火花
  • 是以傳導性Polyurethanestmer材質製成
  • 表面電阻率: 103 到 106 ohms/cm2
  • 體積電阻率: 10 到 104 ohms-cm
  • 適用溫度範圍: -40度 到 80度
最大應用壓力: 100% = 8.0 kgf/cm2
用於處理半導體晶圓的抗靜電真空管線:最大應用壓力
用於處理矽晶圓的抗靜電真空管線:抗靜電真空管線
型式 D1 D2 L1 L2 L3 重量
851-L 6mm 4mm 400mm 500mm 1000mm 118g
851-M 5mm 3mm 400mm 500mm 1000mm 84g
直線型管線亦供應中: 850-L/M

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