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| M100-300L |
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| ロックレバーのおかげで少ない力でウェハーをしっかりとハンドリング |
| PEEK (Polyetheretherketon)製 |
| ウェハーエッジ接触: 10mm(上), 16mm(下) |
| 全長: 180mm, 重さ: 77g |
| E100-300L |
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| ロックレバーのおかげで少ない力でウェハーをしっかりとハンドリング |
| 導電性PEEK (Polyetheretherketon)製 |
| ウェハーエッジ接触: 10mm(上), 16mm(下) |
| 全長: 180mm, 重さ: 78g |