HEPAフィルター内蔵オイルフリーダイヤフラム真空ポンプ
| FV-30 |
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| FV-60 |
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| *HEPAフィルターは0.3ミクロンまでのパーティクルの99.97%を捕獲します |
| **HEPAフィルター交換時期がわかります |
Specifications
| 製品 | FV-30-110 | FV-60-110 |
|---|---|---|
| 流量 | 2.5 l/min (0.088 cfm) | 2.5 l/min (0.088 cfm) |
| 到達真空圧 | -300 mmHg (-40 kPa) | -600 mmHg (-80 kPa) |
| 電源 | 100-120 VAC | 100-120 VAC |
| 消費電力 | 5.0 W | 10.0 W |
| サイズ(D x W x H) | 137 x 88 x 85 mm | 137 x 88 x 133 mm |
| 重さ | 800 g | 1250 g |
| 耐久性 | 連続 | 連続 |
| 寿命 | > 8760 時間 | > 8760 時間 |
| ウェハーサイズ | 6インチまで | 8及び12インチ |