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| M100-300L |
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| 잠금 장치 효과로 인해 웨이퍼를 잡을 때 적은 힘이 필요함 |
| PEEK 재질 (Polyetheretherketon) |
| 웨이퍼 가장자리 접촉면: 10mm(상부), 16mm(하부) |
| 길이: 180mm, 무게: 77g |
| E100-300L |
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| 잠금 장치 효과로 인해 웨이퍼를 잡을 때 적은 힘이 필요함 |
| 전도성 PEEK 재질 (Polyetheretherketon) |
| 웨이퍼 가장자리 접촉면: 10mm(상부), 16mm(하부) |
| 길이: 180mm, 무게: 78g |