HEPA 필터가 내부에 장착되었으며 오일 성분이 없는 진공 펌프
| FV-30 |
|---|
|
| FV-60 |
|
|
| *내재된 HEPA 필터에 의해서 0.3um 이상의 모든 먼저 분자 불순물들을 99.97% 필터링함. |
| **HEPA 필터를 교환 시 알려 드리겠습니다. |
Specifications
| 품목 | FV-30-110 | FV-60-110 |
|---|---|---|
| 유체율 | 2.5 l/min (0.088 cfm) | 2.5 l/min (0.088 cfm) |
| 적응 압력 | -300 mmHg (-40 kPa) | -600 mmHg (-80 kPa) |
| 전압 | 100-120 VAC | 100-120 VAC |
| 소모 전압 | 5.0 W | 10.0 W |
| 규격 (D x W x H) | 137 x 88 x 85 mm | 137 x 88 x 133 mm |
| 무게 | 800 g | 1250 g |
| Duty 주기 | 연속 | 연속 |
| 보장 사용 시간 | > 8760 시간 | > 8760 시간 |
| 웨이퍼 크기 | 6인치 까지 | 8 에서 12인치 |