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| M100-100 | 
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| PEEK (Polyetheretherketon)製 | 
| ウェハーエッジ接触: 5.4mm(上), 9.5mm(下) | 
| 全長: 146mm, 重さ: 30g | 
| M110-100 | 
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| PPS (Polyphenylene Sulfide)製 | 
| ウェハーエッジ接触: 5.4mm(上), 9.5mm(下) | 
| 全長: 146mm, 重さ: 31g | 
| E100-100 | 
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| 導電性PEEK (Polyetheretherketon)製 | 
| ウェハーエッジ接触: 5.4mm(上), 9.5mm(下) | 
| 全長: 146mm, 重さ: 30g |