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M100-100 |
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PEEK (Polyetheretherketon)製 |
ウェハーエッジ接触: 5.4mm(上), 9.5mm(下) |
全長: 146mm, 重さ: 30g |
M110-100 |
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PPS (Polyphenylene Sulfide)製 |
ウェハーエッジ接触: 5.4mm(上), 9.5mm(下) |
全長: 146mm, 重さ: 31g |
E100-100 |
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導電性PEEK (Polyetheretherketon)製 |
ウェハーエッジ接触: 5.4mm(上), 9.5mm(下) |
全長: 146mm, 重さ: 30g |