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| M100-100 |
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| PEEK 재질 (Polyetheretherketon) |
| 웨이퍼 가장자리 접촉면: 5.4mm(상부), 9.5mm(하부) |
| 길이: 146mm, 무게: 30g |
| M110-100 |
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| PPS 재질 (Polyphenylene Sulfide) |
| 웨이퍼 가장자리 접촉면: 5.4mm(상부), 9.5mm(하부) |
| 길이: 146mm, 무게: 31g |
| E100-100 |
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| 전도성 PEEK 재질 (Polyetheretherketon) |
| 웨이퍼 가장자리 접촉면: 5.4mm(상부), 9.5mm(하부) |
| 길이: 146mm, 무게: 30g |