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| M100-150L |
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| ロックレバーのおかげで少ない力でウェハーをしっかりとハンドリング |
| PEEK (Polyetheretherketon)製 |
| ウェハーエッジ接触: 3.0mm(上), 6.0mm(下) |
| 全長: 185mm, 重さ: 71g |
| E100-150L |
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| ロックレバーのおかげで少ない力でウェハーをしっかりとハンドリング |
| 導電性PEEK (Polyetheretherketon)製 |
| ウェハーエッジ接触: 3.0mm(上), 6.0mm(下) |
| 全長: 185mm, 重さ: 72g |
| M100-150 |
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| PEEK (Polyetheretherketon)製 |
| ウェハーエッジ接触: 5.6mm(上), 8.5mm(下) |
| 全長: 147mm, 重さ: 31g |
| M110-150 |
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| PPS (Polyphenylene Sulfide)製 |
| ウェハーエッジ接触: 5.6mm(上), 8.5mm(下) |
| 全長: 147mm, 重さ: 33g |
| E100-150 |
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| 導電性PEEK (Polyetheretherketon)製 |
| ウェハーエッジ接触: 5.6mm(上), 8.5mm(下) |
| 全長: 147mm, 重さ: 32g |